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產品詳情
  • 產品名稱:HORIBA新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z700S

  • 產品型號: SEC-Z700S
  • 產品廠商:HORIBA堀場
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簡單介紹:
國內總代HORIBA新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z700S。 SEC-Z700S 系列配備了新開發的熱傳感器和壓力補償功能,可實現穩定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。新功能簡化了供氣系統。典型的多腔室氣體管線具有管線調節器、壓力傳感器和過濾器,以避免由壓力波動引起的質量流量控制器串擾現象。
詳情介紹:

總代HORIBA新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z700S 國內各區域銷售


基本特征

  • 多氣體/多量程功能,客戶可以更改氣體類型和滿量程流量
  • 穩定控制氣流,不受上流和下流壓力波動的影響
  • 集成多重顯示
  • 超潔凈設計:金屬隔膜,全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理(標準)
  • 尺寸緊湊,50 SLM 以內采用相同的安裝尺寸
  • 信號兼容:支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通訊模式

 

主要特征

  • 確保 1% 設定點精度(流量≥5%)
  • 高重復性(≤±0.15% 設定點/流量≥5%)
  • 范圍控制廣(0.5-100% 滿量程)
  • 可調響應(300ms≤t≤1000ms)
  • 高操作溫度(15-60℃)
  • 低閥座泄漏(≤0.1% 滿量程/#01-#06)
  • 高耐腐蝕性設計

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