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日本MIKASA旋轉涂布機中國代理

日期：2025-07-03 17:08
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摘要： 日本MIKASA MS-B100旋轉涂布機產品特點介紹： ■采用AC伺服電動機 1. 無刷式，不會造成無塵室污染。 2. 減少電動機發熱.也減少因連續使用時的溫度上升造成對膜厚匡 現性的影響。 3. 電力消費低，減低環境的負擔。 ■擴張程序功能 1.*多有100階段程序、可記憶10種樓式，更容易使用? ■所有機型皆標準配備數宇式真空計 ■方形基板等可設定停止時位置.超方便 ■**裝置機構（真空壓及蓋子） 1.由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時.可以變...


日本MIKASA MS-B100旋轉涂布機產品特點介紹：

■采用AC伺服電動機

1. 無刷式，不會造成無塵室污染。

2. 減少電動機發熱.也減少因連續使用時的溫度上升造成對膜厚匡 現性的影響。

3. 電力消費低，減低環境的負擔。

■擴張程序功能

1.*多有100階段程序、可記憶10種樓式，更容易使用?

■所有機型皆標準配備數宇式真空計

■方形基板等可設定停止時位置.超方便

■**裝置機構（真空壓及蓋子）

1.由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時.可以變更**裝 罟機構（真空）的稼動壓力。




日本MIKASA MS-B200旋轉涂布機產品特點介紹：

功能


■采用AC伺服電動機

1. 無刷式，不會造成無塵室污染。

2. 減少電動機發熱，也減少因連續使用時的溫度上升造成對膜厚再現性的彩購。

3. 電力消費低，減低環境的負擔。

■擴張程序功能

1.*多有100階段程序、可記憶10種模式，更容易使用。

■所有機型皆標準配備數宇式真空計

■方形基板等可設定停止時位置，超方便

■**裝置機構（真空壓及蓋子）

1.由于薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時，可以變更**裝置機構（真空）的稼動壓力。




日本MIKASA MS-B200（密閉式）旋轉涂布機產品特點介紹：


■可減低因旋轉而產生的氣流不穩.均勻涂膜

■ EB光刻劑涂布效果佳

■低沸點溶劑涂布效果佳

■可減低光刻劑的使用量


日本MIKASA MS-B300旋轉涂布機產品特點介紹：




日本MIKASA MS-B300（密閉式）旋轉涂布機產品特點介紹：



日本MIKASA 標準滴下設備（氣動式）特點介紹：



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